установка электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием изображений

elektronpluoštis tiesioginės litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct-write e-beam equipment vok. Elektronenstrahldirektschreiber, m rus. установка электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием изображений, f pranc. équipement de lithographie par faisceau d'électrons à enregistrement direct, m